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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Oxide and interface trap densities estimation in ultrathin W/ La2O3/Si MOS capacitors 
著者
和文: マイマイティ マイマイティレャアティ, 久保田透, 関拓也, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: マイマイティ マイマイティレャアティ, 久保田透, 関拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 片岡好則, 西山彰, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronics Reliability 
巻, 号, ページ Vol. 52    No. 6    pp. 1039-1042
出版年月 2012年6月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.microrel.2011.12.025

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