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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:RIBE micro-fabrication of semiconductor photonic devices for micro-photonic integrated circuit 
著者
和文: 小山 二三夫, S. Mitsugi, J. Kato, 松谷 晃宏, K. Suzuki, T. Mukaihara, 伊賀 健一.  
英文: F. Koyama, S. Mitsugi, J. Kato, A. Matsutani, K. Suzuki, T. Mukaihara, K. Iga.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ IO5.2       
出版年月 1994年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1994 Annual Meeting, LEOS'94 
開催地
和文: 
英文:Boston 

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