Investigation of Sputtering Damage in SrRuO3 Films Prepared by Sputtering with Raman and X-ray Photoemission Spectroscopies

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Investigation of Sputtering Damage in SrRuO3 Films Prepared by Sputtering with Raman and X-ray Photoemission Spectroscopies

著者

和文:	Takeshi Tai, Masamichi Nishide, Masashi Matsuoka, 加茂嵩史, 舟窪浩, 河東田隆, Hiromi Shima, Ken Nishida, Takashi Yamamoto.
英文:	Takeshi Tai, Masamichi Nishide, Masashi Matsuoka, Takafumi Kamo, Hiroshi Funakubo, Takashi Katoda, Hiromi Shima, Ken Nishida, Takashi Yamamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. App. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 51 pp. 09LA19-1-4

出版年月

2012年

出版者

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会議名称

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開催地

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