Experimental Study of Self-Heating Effect (SHE) in SOI MOSFETs: Accurate Understanding of Temperatures During AC Conductance Measurement, Proposals of 2ω Method and Modified Pulsed IV

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental Study of Self-Heating Effect (SHE) in SOI MOSFETs: Accurate Understanding of Temperatures During AC Conductance Measurement, Proposals of 2ω Method and Modified Pulsed IV

著者

和文:	別府伸耕, 高橋綱己, 小田俊理, 内田建.
英文:	N. Beppu, T. Takahashi, S Oda, K. Uchida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 641-644

出版年月

2012年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEDM 2012

開催地

和文:
英文:	San Francisco