電極層間ギャップを潤滑油のみで維持する多層構造静電アクチュエータを用いた微動ステージ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電極層間ギャップを潤滑油のみで維持する多層構造静電アクチュエータを用いた微動ステージ
英文:	Fine Motion Stage with Multilayer Electrostatic Actuator Having the Gaps between Electrode Layers Maintained by Only Lubricating Oil

著者

和文:	佐藤海二.
英文:	Kaiji Sato.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料リニアドライブ研究会LD-13-003
英文:

巻, 号, ページ

pp. 11-16

出版年月

2013年2月

出版者

和文:	電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	電気学会リニアドライブ研究会
英文:	Technical Meeting on Linear Drives, IEE Japan

開催地

和文:	アクトシティ浜松
英文: