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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Comparative study of CeO2 gate dielectrics using chemical vapor deposition and atomic layer deposition
著者
和文:
幸田みゆき
,
角嶋邦之
,
パールハットアヘメト
,
岩井洋
,
安田哲二
.
英文:
Miyuki Kouda
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
パールハットアヘメト
,
HIROSHI IWAI
,
安田哲二
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2012年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT
開催地
和文:
英文:
©2007
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