Micro Gap Measurement based on Needle Vibration for Nano liter dispenser

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro Gap Measurement based on Needle Vibration for Nano liter dispenser

著者

和文:	廣瀬一樹, 入江優花, 平田慎之介, 青山尚之.
英文:	Kazuki Hirose, Yuuka Irie, Shinnosuke Hirata, Hisayuki Aoyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 0056

出版年月

2011年11月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ASPEN 2011 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文:	Hong Kong