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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Boron Doped on Top Surfaces and Sidewalls of Si Fin Structures
著者
和文:
宮田陽平
,
金原潤
,
野平博司
,
Y. Izumi
,
T. Muro
,
木下豊彦
,
パールハットアヘメト
,
角嶋邦之
,
筒井一生
,
服部健雄
,
岩井洋
.
英文:
Youhei Miyata
,
Jun Kanehara
,
Hiroshi Nohira
,
Y. Izumi
,
T. Muro
,
木下豊彦
,
パールハットアヘメト
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
KAZUO TSUTSUI
,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2012年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
2012 12th International Workshop on Junction Technology(IWJT2012)
開催地
和文:
上海
英文:
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