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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Boron Doped on Top Surfaces and Sidewalls of Si Fin Structures 
著者
和文: 宮田陽平, 金原潤, 野平博司, Y. Izumi, T. Muro, 木下豊彦, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Youhei Miyata, Jun Kanehara, Hiroshi Nohira, Y. Izumi, T. Muro, 木下豊彦, パールハットアヘメト, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:2012 12th International Workshop on Junction Technology(IWJT2012) 
開催地
和文:上海 
英文: 

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