Interface Controlled Stacked Ni Silicidation Process with Schottky Barrier Height Controllability

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Interface Controlled Stacked Ni Silicidation Process with Schottky Barrier Height Controllability

著者

和文:	角嶋邦之, 田村雄太, 吉原亮, 筒井一生, 岩井洋.
英文:	Kuniyuki KAKUSHIMA, Yuta Tamura, 吉原亮, KAZUO TSUTSUI, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	K. Kakushima, Y. Tamura, R. Yoshihara, K. Tsutsui, H. Iwai

開催地

和文:	横浜市
英文: