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タイトル
和文:第25節 光学法、X線法によるアモルファスIGZO薄膜の構造・物性解析; 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 
英文: 
著者
和文: 神谷利夫, 細野秀雄.  
英文: TOSHIO KAMIYA, HIDEO HOSONO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 367-376
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文:2013/6/28 株式会社 技術情報協会発行 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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