Improved algorithm for multiwavelength single-shot interferometric surface profiling:Speeding up the multiwavelength-integrated local model fitting method by local information sharing.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improved algorithm for multiwavelength single-shot interferometric surface profiling:Speeding up the multiwavelength-integrated local model fitting method by local information sharing.

著者

和文:	仲田圭佑, 杉山将, Kitagawa, K., Otsuki, M..
英文:	Nakata, K., Sugiyama, M., Kitagawa, K., Otsuki, M..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Optics

巻, 号, ページ

vol. 52 no. 17 pp. 4042-4053

出版年月

2013年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI