Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling

著者

和文:	山下晃弘, 杉山将, Kitagawa, K., Kobayashi, H..
英文:	Yamashita, A., Sugiyama, M., Kitagawa, K., Kobayashi, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Optics

巻, 号, ページ

vol. 51 no. 28 pp. 6700-6707

出版年月

2012年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI