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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Fabrication of 4H-SiC MOSFETs Using Stacked Al2O3 Gate Insulator with Pre-Annealed Al2O3 Buffer Layer
著者
和文:
山田泰之
,
日野史郎
,
三浦 成久
,
今泉昌之
,
山川 聡
,
徳光永輔
.
英文:
Hiroyuki Yamada
,
Shiro Hino
,
Naruhisa Miura
,
Masayuki Imaizumi
,
Satoshi Yamakawa
,
EISUKE TOKUMITSU
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2013年10月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
The International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2013
開催地
和文:
宮崎
英文:
Miyazaki
©2007
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