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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Scalable La-silicate Gate Dielectric on InGaAs Substrate with High Thermal Stability and Low Interface State Density
著者
和文:
ダリューシュザデ
,
大嶺洋
,
角嶋邦之
,
片岡好則
,
西山彰
,
杉井信之
,
若林整
,
筒井一生
,
名取研二
,
岩井洋
.
英文:
ダリューシュザデ
,
Hiroshi Oomine
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
,
片岡好則
,
西山彰
,
Nobuyuki Sugii
,
Hitoshi Wakabayashi
,
KAZUO TSUTSUI
,
Kenji Natori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2013年
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM)
開催地
和文:
福岡
英文:
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