Evaluation of Effective Permittivity and Permeability for Dummy Metal Fills in a CMOS Chip Using Capacitor and Inductor Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of Effective Permittivity and Permeability for Dummy Metal Fills in a CMOS Chip Using Capacitor and Inductor Model

著者

和文:	平野拓一, 岡田健一, 廣川二郎, 安藤真.
英文:	Takuichi Hirano, Kenichi Okada, JIRO HIROKAWA, Makoto Ando.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 695-697

出版年月

2013年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of URSI Commission B International Symposium on Electromagnetic Theory

開催地

和文:
英文: