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論文・著書情報


タイトル
和文:W2Cゲート電極とLa-silicateゲート絶縁膜を用いたMOSキャパシタの信頼性評価 
英文: 
著者
和文: 中村嘉基, 細田修平, Tuokedaerhan Kamale, 角嶋邦之, 片岡好則, 西山彰, 若林整, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 岩井洋.  
英文: Yoshinori Nakamura, Shuhei Hosoda, Tuokedaerhan Kamale, Kuniyuki KAKUSHIMA, 片岡好則, 西山彰, Hitoshi Wakabayashi, Nobuyuki Sugii, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, HIROSHI IWAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第74回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
和文:京都 
英文: 

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