FTIR analysis of transparent carbon films deposited by low pressure PECVD and atmospheric pressure APPJ

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	FTIR analysis of transparent carbon films deposited by low pressure PECVD and atmospheric pressure APPJ

著者

和文:	Baitukha Alibi, 森伸介, 鈴木正昭.
英文:	Alibi Baitukha, Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of 11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

巻, 号, ページ

p. 430

出版年月

2012年10月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology

開催地

和文:
英文:	Kyoto