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論文・著書情報


タイトル
和文:プラズマCVDを用いたシリコンナノ粒子の合成および収率評価 
英文: 
著者
和文: 前薗圭佑, 山田陸, Ryan Gresback, 丁毅, 岡崎健, 野崎智洋.  
英文: Keisuke Maezono, Riku Yamada, Ryan Gresback, Yi Ding, 岡崎健, TOMOHIRO NOZAKI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年3月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第60回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文:神奈川工科大学 

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