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論文・著書情報


タイトル
和文:シリコンの微細切削における加工変質層に及ぼす高静水圧の影響 
英文: 
著者
和文: 河野健太郎, 吉野 雅彦, 寺野元規.  
英文: kentarou kouno, MASAHIKO YOSHINO, Motoki Terano.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:機械学会第５回マイクロナノ工学シンポジウム講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 21-22
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:機械学会第５回マイクロナノ工学シンポジウム 
英文: 
開催地
和文:仙台 
英文: 

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