Micro Mgnetic Patterning of Thin Film Neodymium Magnet for MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro Mgnetic Patterning of Thin Film Neodymium Magnet for MEMS Devices

著者

和文:	藤原良元, 進士忠彦, Minoru Uehara, Elito Kazawa.
英文:	Ryogen Fujiwara, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara, Elito Kazawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceeding of the 5th international Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

巻, 号, ページ

出版年月

2013年11月15日

出版者

和文:
英文:	The Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

会議名称

和文:
英文:	The 5th international Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文:	Taipei