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論文・著書情報


タイトル
和文:SiH4パルス供給によるArプラズマ発光の増大と生成したシリコンナノ結晶の関係 
英文: 
著者
和文: 池本和史, 中峯嘉文, 河野行雄, 小田俊理.  
英文: Kazufumi Ikemoto, Yoshifumi Nakamine, Yukio Kawano, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第74回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:京田辺市 
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