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論文・著書情報


タイトル
和文:RFマグネトロンスパッタリング法による(001)配向Pt下部電極の作製とCSD 法PZT薄膜の電気特性 
英文:Modulation Structure and electrical properties of ZnIn2O4 thin film by pulsed laser deposition 
著者
和文: 齋藤恭平, 布目敬教, 坂元尚紀, 篠崎和夫, 鈴木久男, 脇谷尚樹.  
英文: Kyohei Saito, Toshitaka Nunome, Naonori Sakamoto, Kazuo Shinozaki, Hisao Suzuki, Naoki Wakiya.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会第29回関東支部研究発表会予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         2A03
出版年月 2013年9月11日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本セラミックス協会第29回関東支部研究発表会 
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開催地
和文:埼玉県 
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