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論文・著書情報


タイトル
和文:ソフトリソグラフィを用いた硬質マイクロ流体デバイスの高効率製作手法の開発 エラストマー印刷版の可視化と解析 
英文: 
著者
和文: 茂木克雄, 杉井康彦, 山本貴富喜, 藤井 輝夫.  
英文: Katsuo Mogi, Yasuhiko Sugii, Takatoki Yamamoto, Teruo Fujii.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年11月6日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 
英文: 
開催地
和文:仙台 
英文: 

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