超臨界二酸化炭素エマルションを用いためっき法における欠陥の抑制

論文・著書情報

タイトル

和文:	超臨界二酸化炭素エマルションを用いためっき法における欠陥の抑制
英文:	Suppression of Void on Electroplating Using Supercritical Carbon Dioxide Emulsion

著者

和文:	曽根正人, TSO-FU MARK CHANG, 清水哲也.
英文:	Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Tetsuya Shimizu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	表面技術
英文:	Journal of The Surface Finishing Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 65 No. 4 pp. 167-171

出版年月

2014年4月1日

出版者

和文:	表面技術協会
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会議名称

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開催地

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DOI