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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A Polydimethylsiloxane diaphragm integrated with a sputtered thin film NdFeB magnet 
著者
和文: ZHI CHAO, 進士 忠彦, Minoru Uehara, 松谷 晃宏, Isamu Yuito, Teruaki Takeuchi.  
英文: Chao Zhi, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara, Akihiro Matsutani, Isamu Yuito, Teruaki Takeuchi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:MICROSYST TECHNOL 
巻, 号, ページ Vol. 21        pp. 675-681
出版年月 2015年3月1日 
出版者
和文: 
英文:Springer 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
公式リンク http://link.springer.com/article/10.1007%2Fs00542-014-2085-z
 
DOI https://doi.org/10.1007/s00542-014-2085-z

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