Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design of sub-1g microelectromechanical systems accelerometers

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 松島隆明, 町田克之, 年吉洋, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 104 No. 7 pp. 74102

出版年月

2014年2月17日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI