ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構

論文・著書情報

タイトル

和文:	ZnOグラフォエピタキシャル薄膜の成長機構
英文:

著者

和文:	入野将昂, 大島孝仁, 大友明.
英文:	M. Irino, T. Oshima, A. Ohtomo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第61回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 61st JSAP Spring Meeting 2014

開催地

和文:	相模原市
英文:	Sagamihara

公式リンク

アブストラクト

ガラス基板表面微細パターニングにより面内配向を示す機能性酸化物薄膜を得ることは、デバイス製造コスト低減のために非常に有用である。我々は，ガラス基板パターン上で面内配向を示すZnO薄膜を合成し,その配向機構に関する知見を得ることに成功したので報告する。