Fabrication of metallic microstructure on curved substrate by optical soft lithography and copper electroplating

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of metallic microstructure on curved substrate by optical soft lithography and copper electroplating

著者

和文:	朴鍾淏, 藤田博之, Beomjoon Kim.
英文:	Jongho Park, Hiroyuki Fujita, Beomjoon Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A-Physical

巻, 号, ページ

Vol. 168 pp. 105-111

出版年月

2011年7月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI