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論文・著書情報


タイトル
和文:PLD法によるエピタキシャルYSZ薄膜を用いた酸素センサーの作製と評価 
英文:Fabrication and characterization of O2 sensor using YSZ epitaxial thin-film deposited by PLD 
著者
和文: 海老澤琢, 永原和聡, 浜崎純一, 塩田忠, 櫻井修, Jeffrey Cross, 篠崎和夫, 脇谷尚樹.  
英文: 海老澤琢, Kazuto Nagahara, Junichi Hamasaki, Tadashi SHIOTA, osamu sakurai, Jeffrey Scott Cross, KAZUO SHINOZAKI, naoki wakiya.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会第32回エレクトロセラミックス研究討論会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     2P08    p. 48
出版年月 2012年10月26日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本セラミックス協会第32回エレクトロセラミックス研究討論会 
英文:The 32nd Electronics Division Meeting of the Ceramic Society of Japan 
開催地
和文:東京 
英文: 
アブストラクト Electrical properties of epitaxially grown yttria stabilized zirconia(YSZ) thin films on <100> Si substrate were measured. YSZ thin film with 100nm thickness was deposited by PLD. Si substrate was partially etched with 400μm in diameter by reactive ion etching apparatus. The apparent activation energy determined by AC impedance measurement showed lower value than that of measured without etching.

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