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論文・著書情報


タイトル
和文:表面活性化接合を用いたIII–V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII–V層部分エッチングプロセスの検討 
英文: 
著者
和文: 鈴木 純一, 林 侑介, 久能 雄輝, 姜 晙炫, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久.  
英文: J. Suzuki, Y. Hayashi, Y. Kuno, J.H. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第75回秋季応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:札幌 
英文: 

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