High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

著者

和文:	李寧, 岡田健一, Takeshi Inoue, 平野拓一, 卜慶紅, THARAYILNAARAVIND, SIRIBURANON T, Hitoshi Sakane, 松澤昭.
英文:	Ning Li, Kenichi Okada, Takeshi Inoue, Takuichi Hirano, Qinghong Bu, Aravind Tharayil Narayanan, Teerachot Siriburanon, Hitoshi Sakane, Akira Matsuzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 189-190

出版年月

2014年6月12日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Symposium on VLSI Technology (VLSI Technology)

開催地

和文:
英文:	Honolulu, HI