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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Parametric study of non-thermal plasma synthesis of silicon nanoparticles from chlorinated precursor 
著者
和文: 丁 毅, ｸﾞﾚｽﾊﾞｯｸ ﾗｲｱﾝ ｹﾞﾗ, 山田 陸, ZHOU SHU, Xiaodong Pi, 野崎 智洋.  
英文: Yi Ding, Ryan Gresback, Riku Yamada, Shu Zhou, Xiaodong Pi, Tomohiro Nozaki.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Physics D: Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 47        485202(9pp)
出版年月 2014年11月14日 
出版者
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会議名称
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開催地
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