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論文・著書情報


タイトル
和文:Cl2-誘導結合型プラズマエッチングにおけるヤヌス型トリプチセンTripC12のエッチング特性の評価 
英文:Etching characterization of Janus-type Triptycene (TripC12) in Cl2 based inductively coupled plasma etching process 
著者
和文: 松谷晃宏, 石割文崇, 庄子良晃, 上原 卓也, 中川 勝, 福島孝典.  
英文: Akihiro matsutani, Fumitaka Ishiwari, Yoshiaki Shoji, Takuya Uehara, Masaru Nakagawa, Takanori Fukushima.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年9月1日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会 
英文:The 75th JSAP Autumn Meeting 2014 
開催地
和文:札幌 
英文:Sapporo 

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