Loss reduction of Si optical waveguides by beam step-size fracturing technique in electron beam lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Loss reduction of Si optical waveguides by beam step-size fracturing technique in electron beam lithography

著者

和文:	渥美裕樹, N. Taksatorn, 西山伸彦, 宮本恭幸, 荒井滋久.
英文:	Y. Atsumi, N. Taksatorn, N. Nishiyama, Y. Miyamoto, S. Arai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 53 No. 6 p. 06JB04

出版年月

2014年5月28日

出版者

和文:
英文:	JSAP

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI