High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

論文・著書情報

タイトル

和文:	標準CMOS基板へのヘリウム3照射による局所半絶縁化と高Qインダクタを用いたRF回路実装(招待講演)
英文:	High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

著者

和文:	李寧, 岡田健一, 井上剛, 平野拓一, 卜慶紅, THARAYILNAARAVIND, Teerachot Siriburanon, 坂根仁, 松澤昭.
英文:	ning li, Kenichi Okada, Takeshi Inoue, Takuichi Hirano, Qinghong Bu, Aravind Tharayil Narayanan, Teerachot Siriburanon, Hotoshi Sakane, Akira Matsuzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年8月8日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	応用物理学会シリコンテクノロジー分科会
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開催地

和文:	東京
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