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論文・著書情報


タイトル
和文:SF6ドライエッチングによるシリコン量子ドットの作製と評価 
英文: 
著者
和文: 呂逸, 小寺哲夫, 堀部浩介, 小田俊理.  
英文: Yi Ro, Tetsuo Kodera, kousuke Horibe, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第61回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:相模原市 
英文: 

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