Doped Silicon Nanocrystals from Organic Dopant Precursor by a SiCl4-Based High Frequency Nonthermal Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Doped Silicon Nanocrystals from Organic Dopant Precursor by a SiCl4-Based High Frequency Nonthermal Plasma

著者

和文:	ZHOU SHU, 丁毅, Xiaodong Pi, 野崎智洋.
英文:	Shu Zhou, Yi Ding, Xiaodong Pi, Tomohiro Nozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 105 pp. 183110(5pp)

出版年月

2014年11月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: