Investigation of ROS Production Process using Multi-Gas Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	Investigation of ROS Production Process using Multi-Gas Plasma
英文:	Investigation of ROS Production Process using Multi-Gas Plasma

著者

和文:	Toshihiro Takamatsu, Yota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Yuriko Matsumura, Atsuo Iwasawa, Masahiro Kohno, Takeshi Azuma, Akitoshi Okino.
英文:	Toshihiro Takamatsu, Yota Sasaki, Hidekazu Miyahara, Yuriko Matsumura, Atsuo Iwasawa, Masahiro Kohno, Takeshi Azuma, Akitoshi Okino.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

SPACC7

出版年月

2014年11月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	THE 21ST INTERNATIONAL SPACC SYMPOSIUM
英文:	THE 21ST INTERNATIONAL SPACC SYMPOSIUM

開催地

和文:	東京
英文: