Planar-type micro-electromagnetic actuators using patterned thin film permanent magunets and mesh type coils

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Planar-type micro-electromagnetic actuators using patterned thin film permanent magunets and mesh type coils

著者

和文:	ZHI CHAO, 進士忠彦, Mikiko Saito, Kunio Kato.
英文:	Chao Zhi, Tadahiko Shinshi, Mikiko Saito, Kunio Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

pp. 365-372

出版年月

2014年10月11日

出版者

和文:
英文:	ELSEVIER

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: