非点収差オフセットを持つスポット像からの収差解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	非点収差オフセットを持つスポット像からの収差解析
英文:	Aberration Retrieval Method using spot images with astigmatism offset

著者

和文:	大友暢寛, 大西有希, 天谷賢治.
英文:	Nobuhiro OTOMO, Yuki ONISHI, Kenji AMAYA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	27回計算力学講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年11月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会第27回計算力学講演会 (CMD2014)
英文:	27th JSME Computational Mechanics Division Conference

開催地

和文:	盛岡市
英文:	Morioka