先端放電型プラズマＣＶＤを用いた3C-SiC(001)/Si(001)ウェハ上への高配向ダイヤモンド薄膜合成 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	先端放電型プラズマＣＶＤを用いた3C-SiC(001)/Si(001)ウェハ上への高配向ダイヤモンド薄膜合成
英文:

著者

和文:	矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys Natal, Steven E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	Junya Yaita, Takayuki Iwasaki, Meralys Natal, Steven E. Saddow, Mutsuko Hatano.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年9月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第75回ダ応用物理学会秋季学術講演会,
英文:

開催地

和文:	北海道
英文:

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.