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論文・著書情報
タイトル
和文:
メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
英文:
著者
和文:
山根 大輔
, 李 宥憲,
藤田 博之
,
年吉 洋
.
英文:
Daisuke Yamane
, 李 宥憲,
Hiroyuki Fujita
,
Hiroshi Toshiyoshi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
英文:
巻, 号, ページ
vol. 131 no. 3 pp. 130-131
出版年月
2011年3月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.1541/ieejsmas.131.130
©2007
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