A 12GHz bulk-micromachined RF-MEMS phase shifter by SOI layer-separation design

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 12GHz bulk-micromachined RF-MEMS phase shifter by SOI layer-separation design

著者

和文:	山根大輔, サンウィンストン, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE Electronics Express

巻, 号, ページ

vol. 7 no. 24 pp. 1785-1789

出版年月

2010年12月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI