Deposition of DLC films on inner face of metal tubes by nanopulse plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of DLC films on inner face of metal tubes by nanopulse plasma CVD

著者

和文:	髙村瞭太, 井上雅貴, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Ryota Takamura, Masaki Inoue, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

巻, 号, ページ

CD-ROM D3-O-10

出版年月

2015年

出版者

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

会議名称

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

開催地

和文:
英文:	Nagoya