In situ transmission infrared spectroscopy of hydroxylation of aluminum thin film and subsequent dehydration processes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In situ transmission infrared spectroscopy of hydroxylation of aluminum thin film and subsequent dehydration processes

著者

和文:	Takuji Ube, 春本高志, Takashi Ishiguro.
英文:	Takuji Ube, Takashi Harumoto, Takashi Ishiguro.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 66701

出版年月

2014年6月1日

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

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英文:

DOI