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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
In situ transmission infrared spectroscopy of hydroxylation of aluminum thin film and subsequent dehydration processes
著者
和文:
Takuji Ube,
春本 高志
, Takashi Ishiguro.
英文:
Takuji Ube,
Takashi Harumoto
, Takashi Ishiguro.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
巻, 号, ページ
Vol. 53 pp. 66701
出版年月
2014年6月1日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
DOI
https://doi.org/10.7567/JJAP.53.066701
©2007
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