Insertion effect of the 3-nm-thick Co(Pt) layer on AlN preferred orientation and residual stress in the c-axis textured AlN film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Insertion effect of the 3-nm-thick Co(Pt) layer on AlN preferred orientation and residual stress in the c-axis textured AlN film

著者

和文:	春本高志, 村石信二, 史蹟, 中村吉男, Takashi Ishiguro.
英文:	Takashi Harumoto, Shinji Muraishi, Ji Shi, Yoshio Nakamura, Takashi Ishiguro.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MRS Proceedings

巻, 号, ページ

Vol. 1515

出版年月

2013年3月19日

出版者

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会議名称

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開催地

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