イヤ放電加工面への水熱合成法によるPZT薄膜の成膜 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	イヤ放電加工面への水熱合成法によるPZT薄膜の成膜
英文:

著者

和文:	上野雅裕, 神田岳文, 鈴森康一, 道廣善彦, 妹尾典久.
英文:	上野雅裕, Takefumi Kanda, Koichi Suzumori, 道廣善彦, 妹尾典久.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2010年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

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英文:

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