混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性制御に関する基礎実験

論文・著書情報

タイトル

和文:	混晶化法を用いたAlAs選択酸化特性制御に関する基礎実験
英文:	Fundamental experiment of control of the AlAs selective oxidation using intermixing method

著者

和文:	魏徹, 宮本智之.
英文:	Tetsu Gi, Tomoyuki Miyamoto.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年3月12日

出版者

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会議名称

和文:	第62回応用物理学関係連合講演会
英文:	The 62th Spring Meeting of Japan Society of Applied Physics

開催地

和文:	神奈川
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