Proposal of DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropumps

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Proposal of DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropumps

著者

和文:	清水美咲, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Misaki Shimizu, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ICMDT2015 Proceedings

巻, 号, ページ

pp. 126-127(TH-D-1-6)

出版年月

2015年4月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 6th International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology

開催地

和文:	沖縄県
英文:	Okinawa

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