Fabrication of a-Al2O3 thin films at lower temperature by low pressure MOCVD

論文・著書情報

タイトル

和文:	Fabrication of a-Al2O3 thin films at lower temperature by low pressure MOCVD
英文:

著者

和文:	林俊甫, 田中敦, 西山昭雄, 塩田忠, 櫻井修, 篠崎和夫.
英文:	Morgan Lin, A. Tanaka, A. Nishiyama, T. Shiota, osamu sakurai, K. Shinozaki.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年10月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会
英文:

開催地

和文:
英文:	目黒