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論文・著書情報
タイトル
和文:
Fabrication of a-Al2O3 thin films at lower temperature by low pressure MOCVD
英文:
著者
和文:
林俊甫
,
田中 敦
,
西山 昭雄
,
塩田 忠
,
櫻井修
,
篠崎 和夫
.
英文:
Morgan Lin
,
A. Tanaka
,
A. Nishiyama
,
T. Shiota
,
osamu sakurai
,
K. Shinozaki
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会講演要旨集
英文:
巻, 号, ページ
43
出版年月
2014年10月18日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第4回日本セラミックス協会関東支部若手研究発表交流会
英文:
開催地
和文:
英文:
目黒
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